极紫外光刻真空工件台技术研究

摘要：

在极紫外光刻系统中,真空工件台的运行精度、速度、加速度以及动态定位和扫描同步性能是影响整机成像质量、套刻精度和产率的重要因素.结合极紫外光刻机的工作原理和发展现状,论述了极紫外光刻机真空工件台系统的特征、组成及其关键技术.

关键词：极紫外光刻机、工件台、真空、控制

分类号：TN305.7(半导体技术)

资助基金：中国科学院引进国外杰出人才基金20011215;国家高技术研究发展计划863计划2003AA404150

在线出版日期：2005-05-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：32-37