周期可变光栅的研制及应用

摘要：

设计制作了一种用形状记忆合金驱动的周期可变光栅.用硅微细加工技术制作一种类似弹簧结构的光栅,将光栅与形状记忆合金相连.通上电流,合金温度改变引起形变,因此可以拉伸光栅,并改变光栅周期.对合金的形变特性及光栅的衍射特性都作了测试.实验表明,光栅最大可被拉伸10%,衍射角变化为0.32 mrad.

关键词：微光机电系统、周期可变光栅、形状记忆合金

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2005-05-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：26-28