LC19离子注入机控制方法及主控制器原理分析

摘要：

为了使离子注入机满足生产线工艺的要求,控制系统的设计必须使控制功能完善、控制命令响应迅速、命令执行准确可靠、异常处理迅速有效和整机工作稳定可靠.LC19离子注入机控制系统采用主从集中式控制方法,较好地解决了控制功能复杂与控制系统反应迅速、高效、稳定、可靠之间的矛盾.其主控制器的设计采用双端口存储器传递主控制计算机的命令,实现对各子控制系统的控制,其原理简单,但很好地解决了主从式集中控制方法中信息高速传递的难题.计算机与主控制器间采用8位总线送数,主控制器与子控制器之间采用高速串口送数.主控制计算机可向双端口存储器的A,B两区交替发送命令.而且,主从控制器之间采用了巧妙的通讯监控方法,一旦发生通讯故障,子控制器就会清"0"复位,避免机器失控.介绍了主从式集中控制的硬件及其特点,分析了主控制器的设计原理,说明了其软件流程,简述了其调试结果.

关键词：大角度离子注入机、控制器、异常处理、软件流程

分类号：TN305.3(半导体技术)

在线出版日期：2005-05-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：12-16