双层悬空结构片状微电感研究

摘要：

利用MEMS工艺制作了一种双层悬空结构的圆形片状微电感,并研究了其在S波段的性能.双层微电感的底层线圈制作在玻璃衬底平面上,外径为500μm,匝数为2,导线宽度70 μm,导线间距15 μm,顶层线圈的悬空高度为20 μm,顶层线圈的匝数为1.5,其它结构参数与底层线圈相同.研究表明,所制作的双层结构微电感在2 GHz～4 GHz时其电感量达到2.2 nH,其品质因数达到22.在制作过程中首次引入的光刻胶抛光工艺大大简化了微电感的制作过程.

关键词：微电感、微机电系统(MEMS)、S波段

分类号：TM55(电器)

在线出版日期：2005-02-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：74-78