磁控溅射制备Co1-xPtx:C复合纳米颗粒薄膜的研究

摘要：

采用组合靶,利用磁控共溅射技术制备了Co1-xPtx:C复合纳米颗粒薄膜,并从实验和理论上对不同Pt浓度CoPt:C薄膜的组分、微结构、磁性能、组分和微结构与磁性能之间的关系以及薄膜的应用进行了初步研究.发现CoPt粒子取向和磁性能与CoPt:C薄膜中的Pt浓度有密切关系,在较高Pt浓度的CoPt:C薄膜中观察到垂直各向异性现象.通过改变Pt浓度,可以获得粒子粒径小于10 nm、矫顽力可控、垂直磁晶各向异性较高的薄膜.晶格结构和晶粒之间的作用力可认为是影响CoPt:C薄膜磁性能的主要因素.

关键词：CoPt:C薄膜、浓度、磁性能、磁控溅射

分类号：TN304.055(半导体技术)

资助基金：上海市科技发展基金0215nm030

在线出版日期：2005-02-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：31-35