磁控溅射和热氧化法制备ZnO纳米颗粒

摘要：

利用射频磁控共溅射技术在Si(111)衬底上沉积金属锌/二氧化硅基质(Zn/SiO2)复合薄膜.在空气中600℃退火60 min,从SiO2基质中析出的金属Zn被空气中O2氧化生成了ZnO纳米颗粒,并形成了SiO2多孔网络结构.用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和光致发光谱(PL)对样品的组成、结构、表面形貌及发光特性进行了分析.结果表明,生成的ZnO纳米颗粒为六角纤锌矿结构,呈近椭圆形,平均尺寸在65 nm左右.在280 nm光激发下,有较强的370 nm近带边激子跃迁紫外光发射和峰位在460 nm处较弱的蓝色发光.

关键词：磁控溅射、ZnO、纳米颗粒、SiO2、多孔网络

分类号：TN305.7(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金90201025,90301002

在线出版日期：2004-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：29-32