基于高能电子束曝光的相对论卢瑟福公式研究

摘要：

高能电子运动速度较大,相对论效应很明显.传统的卢瑟福弹性散射公式是由非相对论的薛定谔波动方程得出的,在预言高能电子束曝光时,需要对其进行相对论修正.采用Born近似解相对论的Dirac方程,得到相对论修正的卢瑟福公式.计算元素Si、O、C、H的弹性散射截面和散射角,与修正前的计算结果进行比较,结果表明,当电子能量达到100keV时,其相对论效应已经很明显.

关键词：高能电子束曝光、卢瑟福弹性散射公式、Monte Carlo方法、弹性散射截面、相对论修正

分类号：TN305.7(半导体技术)

资助基金：中国科学院引进国外杰出人才基金20011215

在线出版日期：2004-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：5-9