微细电火花加工装置的设计与应用

摘要：

设计开发了一台用于微细电火花加工的微细加工装置,它主要由以下几个部分组成:花岗岩基座、精密伺服机构、精密高速旋转主轴、线电极磨削装置、微细电火花加工用的RC脉冲电源、加工状态检测系统和控制系统.在该装置上可以进行微细轴、微细孔和微三维结构的加工.具有4轴3联动功能,控制方便,容易实现数控插补功能.加工实验表明,在该装置上能稳定地加工出最小直径为12 μm的微细轴以及25 μm的微细孔,其长径比可分别达到25和10以上.并对半导体硅材料进行了加工实验,加工出的硅微梁深宽比达15以上.此外还给出了所加工的微三维结构实例.

关键词：微细电火花加工、装置、微细轴、微细梁、微三维结构

分类号：TG661

在线出版日期：2004-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：55-59,65