双光子三维微细加工的分辨率研究

摘要：

为了改善双光子加工的成型精度和微器件的质量,提高加工系统的分辨率是十分重要的.根据自由基类光聚合材料双光子加工分辨率的理论分析,提出等光强面概念,并在此基础上讨论了激发光强与系统加工分辨率之间的关系.通过不同光强条件下双光子三维加工固化单元的实验,验证了等光强面和系统分辨率之间的对应关系,并分析了出现微小差异的原因.根据上述理论模型,可以估算一定实验条件下系统可实现的加工分辨率,优化加工工艺参数.最后给出了部分微器件的成型结果.

关键词：等光强面、双光子激发、三维微细加工

分类号：TN24(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金50275140;国家高技术研究发展计划863计划MEMS2003AA404-03

在线出版日期：2004-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：31-36