飞秒激光双光子复杂结构的微细加工

摘要：

阐述了双光子激发的原理和飞秒激光三维加工的技术特点.利用自行研制的飞秒双光子微细加工系统,在优化工艺参数的基础上,加工出一系列三维微结构,并实现了可动的三维微系统-齿轮轴系统的一次成型.

关键词：双光子激发、光聚合、飞秒激光器、三维微器件

分类号：TN24(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金50275140;国家高技术研究发展计划863计划MEMS2003AA404-03

在线出版日期：2004-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：27-30,36