软X射线多层膜光栅

摘要：

详细介绍了软X射线多层膜光栅的国内外发展概况和广阔的应用领域,全面分析了它的制作工艺,并指出制作多层膜光栅的关键技术及解决方案.

关键词：软X射线、多层膜、光栅

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1-7