基于MEMS技术的射频移相器
微波与毫米波移相器是通讯和雷达应用上相控阵天线的基本单元,MEMS技术的引入提供了一个在移相器设计中用最小损耗的开关来大量减少移相器插入损耗的方法,该方法可以降低器件的功耗,改善插入损耗、隔离度、频带宽度等性能.相比于GaAs移相器,基于MEMS开关的射频移相器,无论是开关线型、分布式或是反射型,都有很好的RF性能.
微电子机械系统、开关、移相器、微波、毫米波
TN623;TN958.92(电子元件、组件)
国家自然科学基金10377009;国家重点实验室基金51485020301JW0701;信息产业部微电子技术资助项目41308050116
2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共8页
73-80
