磁悬浮转子微陀螺的微细加工工艺研究

摘要：

介绍了磁悬浮转子微陀螺的工作原理及有关的微细加工工艺.磁悬浮转子微陀螺的平面线圈是采用光刻、电镀及溅射等微细加工方法来实现的,微转子的加工有冲压、蒸铝沉积等方法,其中冲压能得到质量较好的微转子;上壳体采用体硅腐蚀来制作.初步的实验表明该方案是行之有效的.

关键词：磁悬浮、微陀螺、微细加工、线圈、转子

分类号：TN389(半导体技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA745120;上海市科委资助项目

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：68-72