碳纳米管在微机电系统(MEMS)中的应用研究

摘要：

碳纳米管研究的不断发展为其与微机电系统(MEMS)的结合提供了可能,这种结合"Top-down"与"Bottom-up"的方法是微米/纳米技术的一个发展趋势.介绍了碳纳米管的特性及其在MEMS上的潜在应用,综述了碳纳米管的制备方法以及与MEMS技术的兼容性,列举了目前一些碳纳米管与MEMS结合研究的典型,并对其发展趋势进行了分析.

关键词：微机电系统(MEMS)、碳纳米管(Carbon Nanotubes)、纳机电系统(NEMS)

分类号：TN304.1+8(半导体技术)

资助基金：高等学校博士学科点专项科研项目2002003018

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：9-17