基于MEMS的微推进系统的研究现状与展望

摘要：

重点介绍了目前国内外各种MEMS微推进系统的研究现状和不同微推进系统的技术特点,阐述了基于MEMS技术的微推进系统基本特征,并分析了MEMS微推进系统的发展趋势和面临的挑战.

关键词：微推进系统、微小卫星、MEMS

分类号：TN433;V43(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划863-701-2002AA715131

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1-8