纳米加工平台X-Y方向运动的数模控制策略

摘要：

介绍了纳米加工平台的工作原理,并对电磁力进行计算分析.根据力学方程建立了纳米加工平台的X-Y方向模拟内环模型和数字外环模型,并对数模两环反馈控制进行了研究,提出了无加速度感应器的内环控制和模糊控制外环方法.仿真结果表明,该模型具有较高的动态性能和稳定性.

关键词：纳米加工平台、模拟内环、电磁场、PID、模糊外环控制

分类号：TP27(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金50275117

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：73-78