悬空结构射频微电感的制作研究

摘要：

利用MEMS工艺中的牺牲层技术制作了一种新型悬空结构微电感,在此悬空结构中,微电感的线圈制作在与衬底平行的平面上,线圈与衬底之间有立柱支撑;此新型微电感的高频性能较好,且其制作工艺流程简单,与集成电路工艺相兼容.测量结果表明:当工作频率在2 GHz～3 GHz范围内时,此悬空结构微电感电感量达到4.2 nH,Q值最大可达到37.

关键词：悬空结构、微电感、射频

分类号：TM55(电器)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：69-72