激光直写设备超精密平稳驱动技术的研究

摘要：

在二元光学激光直写设备中,主轴的速度稳定性是影响光刻精度的主要原因之一.提出采用机电混合滤波器消除电机的轴向振动和径向振动对系统的影响,提高主轴系统瞬时运动的平稳性.利用鉴相器输出的频差与相差和主轴电机的速度对锁相调速系统的结构进行优化.同时,利用神经网络改善锁相环系统的非线性特性,并采用模糊参数自调整方法调节控制器的参数.结果表明使用机电混合滤波器可使主轴的轴向与径向振动小于20 nm,采用改进的锁相环控制可大大提高主轴的调速范围,并改善其动态性能.

关键词：平稳驱动、机电混合滤波器、锁相环速度控制、模糊参数自调整

分类号：TN24(光电子技术、激光技术)

资助基金：哈尔滨工业大学校科研和教改项目AEBQ54300072

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：33-38