可编程相位光栅结构的微机械特性研究

摘要：

描述了可编程相位光栅光带结构微机械特性中的频响特性与回复时光带瞬态行为研究的原理,并介绍了相应的仿真结果.光栅样机采用硅微机械技术加工而成,其测试结果表明,光栅样机的频响特性基本符合理论推导与仿真结果,光带谐振频率在120 Hz～240 Hz的区间之内,截止频率约为7.14 kHz;光带的响应时间与回复时间相当,约为70μs.

关键词：可编程相位光栅、微光机电系统(MOEMS)、微机电系统(MEMS)、微机械加工技术

分类号：TP271+.4(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金69978008;教育部高校骨干教师资助计划

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：72-76