微桥结构镍膜的弹性模量和残余应力研究

摘要：

采用MEMS(Microelectromechanical Systems)技术研制了宽度在微米尺度的镍(Ni)膜微桥结构试样.采用纳米压痕仪(Nanoindenter)XP系统的楔形压头测量了微桥载荷与位移的关系,并结合微桥力学理论模型得到了Ni膜的弹性模量及残余应力,分别为190 GPa和87 MPa.与采用纳米压痕仪直接测得的带有硅(Si)基底的Ni膜弹性模量(186.8±7.5)GPa相符合.

关键词：Ni膜微桥、MEME技术、力学特性

分类号：TP212.9(自动化技术及设备)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划G1999033103

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：66-71