磁悬浮进给机构的PID控制及仿真试验

摘要：

采用磁悬浮技术把运动部件悬浮在运行导轨之上,利用直线电机无接触驱动运动部件,从而实现机构的进给运动,该运动无摩擦和磨损,是-个无阻尼系统.选用合理的增益系数后,运用PID控制技术可对机构的进给运动进行精确的控制.仿真结果与精度分析表明,磁悬浮无阻尼结构有利于改善进给机构的位移输出动态性能,提高运动控制精度,控制精度误差不大于0.6μm或0.2μm.

关键词：磁悬浮、进给机构、直线电机、PID控制、仿真

分类号：TP273(自动化技术及设备)

资助基金：吉林省自然科学基金20020621;中国科学院研究生院资助项目

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：62-65