ERA系统——概念和关键技术

摘要：

提出ERA系统(Electronic Realization Automation)的概念.该系统的目标是实现微细结构,特别是VLSIC的全自动化制造.对于微细结构制造来说,以下四个问题是根本性的,同时也是最为重要的,即:微细结构的表达及相关运算;加工流程的确定;生产安排及作业调度;工艺的控制、分析、诊断.以上四者构成了ERA系统的关键模块,并讨论了实现这些模块的关键技术.

关键词：ERA(Electronic Realization Automation)、微细结构、加工流程、作业调度、工艺诊断

分类号：TP27(自动化技术及设备)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：56-61