用碳纳米管膜测量转动速度

摘要：

对多壁碳纳米管(MWCNTs)膜在高速转动下的压阻效应进行了研究,并讨论了利用这种效应来测量转动速度和制造这类传感器的可能性.实验所用的多壁碳纳米管是用热灯丝化学气相沉积法(CVD)合成.研究发现:在室温下,多壁碳纳米管膜的电阻随转子转速的增加而增加,在转子转速从1000 r/min～3000 r/min的变化过程中,多壁碳纳米管膜的电阻近似呈线性变化.并且碳纳米管膜在拉伸和压缩两种情况下电阻变化与转速之间的关系曲线近似对称.

关键词：压阻效应、碳纳米管、传感器件

分类号：TN304.1+8(半导体技术)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：37-41