0-3型(Ba1-x-ySrxPby)(Mn,Ti)O3铁电厚膜的制备与表征

摘要：

铁电纳米超细粉体的合成与分散技术是成功制备0-3型铁电厚膜的关键和难点之一.采用Sol-Gel技术可制备呈球形软团聚、钙钛矿相结构完整的30 nm～70 nmMPBST超细粉体,以及致密无裂纹、表面光洁和铁电性能优良(Pr=3.8 μC/cm2)的0-3型铁电厚膜.通过TEM、XRD、TGA-DTA、AFM等手段分析了Sol-Gel工艺的化学机制和热演化历程,结果表明:采用以乙二醇乙醚为主要溶剂的Sol-Gel技术可降低MPBST粉体/厚膜的合成温度,提高粉体均匀性和晶相结构单一性.

关键词：纳米粉体、Sol-Gel技术、0-3型铁电厚膜、分散

分类号：TN304(半导体技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2003AA404150

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：31-36