离轴照明空间成像的偏振光影响研究

摘要：

在投影光刻中矢量衍射理论适用于研究照明光的偏振态对空间成像的影响.主要研究了在离轴照明方式下照明光的偏振态对线条图形的影响.发现在高数值孔径时光的偏振状态严重影响了离轴照明空间成像,结果表明可以通过控制照明光的偏振态来改善光学系统的分辨率.

关键词：光学光刻、离轴照明、偏振光、空间成像

分类号：TN305.7(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金60078005

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：22-25