电子束曝光机静电偏转系统

摘要：

以静电极板为电子束曝光机偏转负载,用双通道扫描原理进行扫描,并使用计算机辅助设计研究电子束曝光机聚焦偏转系统的结构.由SDS-3电子束曝光机试验结果表明,复合静电偏转可以达到磁偏转相似的像差水平.

关键词：扫描系统、电子束、像差、静电偏转

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-4,8