MEMS中几何量的测试方法

摘要：

MEMS测试技术及方法是MEMS设计、制造、仿真及质量控制和评价的关键环节之一,讨论了应用于MEMS几何量测量的微视觉、扫描探针、光切、干涉、共焦、光栅投影等方法及基于材料和微结构特性的特殊测量方法,并详细论述了在MEMS微几何量测量中的微视觉检测原理及方法.结合干涉测量技术的微视觉测试方法能够涵盖从纳米级到毫米级的几乎全部的微几何量分布范围.

关键词：微机电系统、MEMS检测、微视觉检测

分类号：TP271+.4(自动化技术及设备)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：51-56