六维磁悬浮纳米级精密工件台的研究

摘要：

设计了"H"型六维x-y工件台,利用磁悬浮技术将工件台悬浮在x、y导轨上,消除了导轨的摩擦和磨损;直线电机无接触驱动实现了工件台的粗定位;控制不同磁悬浮电磁铁的电流大小,可以实现工件台的微定位以及逐场调平调焦.计算了工件台由于重力弯曲、热膨胀等原因引起结构变形而带来的精度误差,理论上分析证明工件台在x、y方向能满足0.02μm的定位精度要求以及达到0.1μm调焦精度和3.0μrad调平精度的要求.将应用于特征尺寸0.18μm线宽激光光刻机上.

关键词：光刻、磁悬浮、x-y工件台、定位精度、步进扫描、逐场调平调焦

分类号：TN305.7(半导体技术)

资助基金：吉林省自然科学基金20020621;中国科学院研究生院资助项目

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：15-21