生物刻蚀金属制作微小三维结构

摘要：

生物去除法是利用微生物代谢过程中一些复杂的生化反应来达到去除多余材料,加工出其它微细加工方法不能加工出的微小结构.阐述了用氧化亚铁硫杆菌作为生物氧化剂,刻蚀以铜及铜合金为材料的基片表面,得到精细三维结构的原理和方法,并总结了这种新型加工方法的一些优缺点.为了改善生物刻蚀的三维结构的质量,在提高其加工精度及生物加工机理方面正进行着更深入的研究.

关键词：微细加工、光刻、氧化亚铁硫杆菌、生物刻蚀

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：5-8,39