缩小投影电子束曝光机的调试技术

摘要：

详细介绍了在透射电镜上进行缩小投影电子束曝光技术原理性实验的主要调试过程.它充分利用了透射电镜本身的功能与特点.整个调试方法不仅可获得高分辨率图形,而且为下一步的研究工作提供了比较好的工作参数.

关键词：缩小投影电子束曝光、调试、透射电镜(TEM)、电子束曝光

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：21-25