一种新的电子束曝光机中间图形及其数据格式

摘要：

在一种新的电子束曝光机二次曲线单元图的基础上定义了一种中间图形数据格式.该数据格式是为了将版图制造业标准数据格式转换为电子束曝光机专用数据格式服务的.它采用Niklans Wirth的表示方法[1]进行定义,消除了二义性.经过实验性的程序验证,它不仅能很好地解决版图制造业标准数据格式不支持二次曲线的问题,而且图形设计人员可以直接以该数据作为标准,进行曝光图形的设计与存储.该数据格式的出现,为二次曲线单元图形在电子束曝光技术中的广泛应用奠定了良好的基础.

关键词：二次曲线单元图形、中间图形、数据格式、电子束曝光

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：14-20,31