聚焦偏转复合系统像差分析及应用

摘要：

介绍了以DX-3扫描电镜为基础,利用SDS-2电子束扫描系统改装其偏转系统.并给出了磁聚焦和静电的偏转场相复合情况下竖轴点源的三级几何像差系数和一级色差系数公式.应用中表明,复合系统结构简单紧凑,像差小而可以不用动态校正.

关键词：像差、电子束、偏转系统、扫描电镜

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：7-10