一种微型电磁继电器的制作和仿真

摘要：

介绍一种基于MEMS技术的微型电磁继电器的制造工艺和仿真过程.这种微继电器主要由平面方形线圈、固定电极和活动电极构成,依靠线圈的激励电流来控制其开关动作.微继电器的大小约是4mm×4mm×0.5mm,工艺比较简单,主要采用光刻、蒸镀、电镀和腐蚀牺牲层等普通的微加工技术来完成.另外,还进行了有关激励线圈对活动电极所产生电磁力的理论计算和仿真,以便从这些结果中得到活动电极和线圈之间的优化数据.

关键词：MEMS、微型电磁继电器、平面线圈、微加工

分类号：TM581.3(电器)

资助基金：国家自然科学基金69976011

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：60-64