UV-LIGA深度光刻机平滑衍射技术研究

摘要：

UV-LIGA深度光刻技术是加工微型机电系统的一项重要的微细加工技术.介绍了一种平滑衍射效应的位错强度叠加原理,它采用了蝇眼积分透镜去平滑衍射,并模拟数值计算了硅片表面的光强分布,最后给出了光刻结果.

关键词：UV-LIGA技术、平滑衍射、蝇眼积分透镜

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：40-43