电子束缩小投影曝光机对准模拟软件应用

摘要：

介绍了用于电子束缩小投影曝光机的标记对准模拟软件及标记图形,模拟出标记对准的背散射信号,并与实际实验信号图形进行了对比.

关键词：对准技术、标记对准模拟软件、电子束缩小投影曝光机

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：33-35,43