带内孔平面多边形的并算法

摘要：

电子束曝光机版图切割过程中可能出现带内孔的多边形,并且多边形内环与外环之间可能发生重叠.针对这种多边形,提出了新的基于矢量边的重复交点处理方法,并在此基础上给出了一个强健的多边形并算法.

关键词：多边形、并运算、版图切割、电子束曝光机

分类号：TN305.7;TP301.6(半导体技术)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：28-32,39