电子束投影曝光装置实验结果分析

摘要：

主要介绍了电子束缩小投影曝光机的工作原理及其特点,针对在原理论证机上做的实验,着重分析讨论了聚光镜电流的大小对曝光结果的影响.

关键词：电子束缩小投影曝光、聚光镜、投影镜、反差

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：23-27