缩小投影电子束曝光系统的成像反差

摘要：

结合原理说明了理想条件下的照明束与角度限制光阑可获得最佳成像反差,详细讨论了照明束与角度限制光阑处于非理想情况时对成像反差的影响及理想条件的调试方法.

关键词：缩小投影电子束曝光、照明束、角度限制光阑、反差

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：17-22