微光机电系统(MOEMS)的研究现状及展望

摘要：

微机械加工技术的发展为MEMS与微光学技术的结合应用提供了可能.MOEMS作为一个新兴的多学科交叉的研究领域正在兴起.着重介绍了建立在MEMS工艺基础上的MOEMS技术近年研究和开发取得的一些新进展及国内研究现状,阐述了MOEMS的基本特征,列举了一些典型的MOEMS系统,并分析了MOEMS技术的发展趋势.

关键词：微光机电系统(MOEMS)、微机电系统(MEMS)、微机械加工技术

分类号：TN271+.4;O43(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金69978008;教育部高校骨干教师资助计划

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

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