LIGA和微细EDM技术制造不锈钢微结构的研究

摘要：

通过LIGA技术与微细电火花技术相结合,可以在硬质合金、不锈钢等材料上加工出微结构,这一新的方法必将拓宽微细加工的能力和应用范围.利用LIGA技术制备线宽70μm、厚度达730μm的铜工具电极,采用微细电火花技术在不锈钢片上加工出线宽90μm、具有复杂形状的微结构.

关键词：微细加工、LIGA技术、电火花加工

分类号：TP271+.4(自动化技术及设备)

资助基金：中国科学院知识创新工程项目U-516-5;北京市自然科学基金3022005

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：72-74