MEMS螺线管型电感器正负胶结合的加工工艺

摘要：

MEMS螺线管型电感器由于具有很多优点,其用途或潜在用途相当广泛.为了获得高质量的MEMS螺线管型电感器,在充分利用SU-8特点的基础上,结合使用正胶AZ-4000系列和负胶SU-8系列,新开发了UV-LIGA多层微加工工艺,它主要包括:在基片上溅射Cr/Cu作为电镀种子层,涂布正胶,紫外光刻得到电镀模具,电镀Cu和FeNi分别得到线圈的下层、中层和上层以及铁芯;在完成下层和中层后,分别进行一次负胶工艺以形成电绝缘层和后续结构的支撑平台,即涂布负胶覆盖较下层结构,光刻开出通往较上一层的通道并使SU-8聚合、交联以满足性能要求.实验表明该工艺是可行和实用的.它除了可用于螺线管电感器的加工,还可以用来加工其它三维结构的MEMS器件.

关键词：微机电系统、电感器、SU-8、微加工

分类号：TM55(电器)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：53-57