超精密定位工作台

摘要：

在许多高技术领域需要超精密工作台作为其技术支持.就电磁式工作台、直线电机式工作台、压电式工作台、摩擦驱动式工作台、MEMS工作台和其它类型工作台的原理、性能和应用作了介绍.并分析了它们各自的特点.根据不同的应用要求可选用合适的超精密定位方案.

关键词：超精密定位

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：41-47