反应溅射中的溅射产额研究

摘要：

分析了溅射产额的影响因素,并建立了产额模型.该模型能反映各种宏观工艺参数,便于工程应用.对钛靶的计算结果表明与实验结果相符.

关键词：反应溅射、溅射产额、离子能量

分类号：TN305.92(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金19874022

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：33-37,57