操纵原子束的激光系统研究

摘要：

重点分析了操纵原子束进行纳米结构加工中激光系统的设计特点,包括激光器件的选择、发射功率与激光波长等参数的确定.用其结论设计出了焦距193.3mm,F/#=1.9,λ=0.67μm的扩束准直光学系统和缩束倍率10×的缩束光学系统.研究结果表明,该系统可以通过控制原子实现纳米图形制作,并且具有使用方便、寿命长、成本低的优点.

关键词：原子束、纳米加工、激光、准直系统

分类号：TN305.99(半导体技术)

资助基金：中国科学院知识创新工程项目A2K009;国家重点实验室基金

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：19-23