微细加工技术在微光开关制造中的应用

摘要：

微光开关是新一代全光通信网络中的关键器件.利用微细加工技术制造微光开关具有很多突出的优点,受到广泛的研究.总结了几种典型的微光开关制造中运用的微细加工技术,并介绍了它们的应用和相应的特点.

关键词：光开关、全光网络、微细加工技术、表面加工、体加工

分类号：TM564(电器)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：71-75