微机械自润滑材料的摩擦性能研究

摘要：

研究了Ni-MoS2自润滑层在不同工艺条件下的结构特征、形貌,并分析其摩擦特性,发现润滑层表面粗糙度和厚度对摩擦系数影响较大;即使MoS2含量较少,Ni-MoS2复合镀层的极限剪切模量也比金属Ni降低很多.这为LIGA技术制造自润滑MEMS器件提供了有益的参考,并提供低MoS2含量的Ni-MoS2复合材料的一些基本性质.

关键词：Ni-MoS2、LIGA、MEMS、微摩擦

分类号：TH117

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：66-70