MEMS可调式光衰减器性能测试及其分析

摘要：

采用微细加工的方法研制出了一种可调式微机械光衰减器,对该衰减器的性能进行了测试,并对影响其光学性能的因素作了分析.测试表明,该衰减器的插入损耗＜3dB,衰减范围0～40dB,回波损耗＜-45dB,衰减精度可达0.1dB.

关键词：微机械、可调试光衰减器、插入损耗、回波损耗、衰减精度

分类号：TN271+.4;TN715(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：60-65