微型电磁驱动器中微小电磁力的研究

摘要：

设计了一种应用于微机电系统中的微型电磁驱动器.该微驱动器主要由平面正方形线圈、弹性支撑和坡莫合金薄片构成.采用微细加工技术成功地制作出了这种微驱动器.该驱动器具有较大的驱动力和行程,适用于在垂直方向上需要较大偏转的微机电系统中.研究了平面线圈对坡莫合金磁体的微小作用力,并用有限元模拟软件ANSYS,对该作用力进行了模拟分析.

关键词：微型电磁驱动器、微小电磁力、平面线圈、微机电系统、有限元

分类号：O44;TM153+.3(电磁学、电动力学)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：45-49