射频集成电感器的快速傅立叶变换模拟及制备

摘要：

应用磁镜像法和快速傅立叶变换(FFT)法对单片微波集成电路(MMIC)的薄膜平面射频集成电感器进行了电磁学模拟,并把模拟结果和有限元法(FEM)模拟的结果[1]进行了比较.根据模拟结果,对薄膜平面射频集成电感器结构参数和加工参数进行了优化,改进了薄膜平面射频集成电感器的工艺方案.最后结合薄膜平面射频集成电感器薄膜的高频损耗分析,讨论了平面薄膜集成电感器薄膜微细加工技术.

关键词：集成电感器、快速傅立叶变换法(FFT)、磁镜像法、MMIC

分类号：TN304.55(半导体技术)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：40-44