光瞳滤波投影光刻实验研究

摘要：

介绍了一套自行研制的用于光瞳滤波实验的投影光刻实验系统,其物镜光瞳处预留出放滤波器的位置,可方便取放滤波器.在理论分析的基础上,开展了光刻对比实验研究,实验研究结果表明,光瞳滤波能大幅度提高投影光刻成像系统分辨力,并增大焦深,是一种比较有效地提高投影光刻成像质量的方法.

关键词：光刻系统、光瞳滤波、分辨力、焦深

分类号：TN05.7(一般性问题)

资助基金：国家自然科学基金69876041

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：22-26